中源綠凈為電子芯片測(cè)試潔凈室開(kāi)發(fā)的環(huán)境監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，重點(diǎn)強(qiáng)化了微粒與靜電的 管控。應(yīng)用場(chǎng)景：芯片 終測(cè)試潔凈車(chē)間。針對(duì) 100 級(jí)測(cè)試潔凈區(qū)，部署防靜電監(jiān)測(cè)終端，同步采集 0.3μm 微粒濃度（采樣流量 28.3L/min，數(shù)據(jù)更新周期 3 秒）、靜電電壓（量程 - 500~+500V，精度 ±5V）、測(cè)試區(qū)溫度（22±1℃）及濕度（40%~50% RH）。采用法拉第杯靜電傳感器實(shí)現(xiàn)非接觸式測(cè)量，響應(yīng)時(shí)間≤0.5 秒，配合微粒溯源算法可快速定位污染源頭。系統(tǒng)支持與測(cè)試設(shè)備聯(lián)動(dòng)，當(dāng)靜電超標(biāo)時(shí)自動(dòng)啟動(dòng)離子風(fēng)扇，使芯片測(cè)試不良率下降 42%。已在長(zhǎng)電科技、通富微電等企業(yè)應(yīng)用，符合 JEDEC JESD22-A114 靜電測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)，環(huán)境穩(wěn)定性達(dá)標(biāo)率 99.94%。中源綠凈為 30 + 疾控中心提供環(huán)境監(jiān)測(cè)，保障疫苗冷庫(kù)潔凈度，守護(hù)疫苗質(zhì)量！深圳手持環(huán)境監(jiān)測(cè)檢測(cè)

中源綠凈在電子元器件潔凈車(chē)間潔凈度監(jiān)測(cè)中，構(gòu)建了多粒徑微粒全流程管控體系。應(yīng)用場(chǎng)景：電子元器件生產(chǎn)潔凈車(chē)間。針對(duì) 100 級(jí)至 1000 級(jí)潔凈環(huán)境，采用每 2 平方米 1 個(gè)監(jiān)測(cè)終端的高密度部署，可實(shí)時(shí)采集 0.3μm、0.5μm、1μm、5μm 多粒徑微粒濃度，采樣流量達(dá) 50L/min，數(shù)據(jù)更新周期為 2 秒 / 次。系統(tǒng)搭載激光散射式粒子計(jì)數(shù)器， 小檢測(cè)粒徑達(dá) 0.1μm，檢測(cè)精度誤差≤±10%。通過(guò)自研的微粒溯源算法，能快速定位污染源位置，當(dāng)微粒濃度超過(guò)閾值時(shí)自動(dòng)聯(lián)動(dòng) FFU 風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元調(diào)節(jié)風(fēng)速，使元器件表面微粒附著率下降 58%。已在富士康、立訊精密等企業(yè)應(yīng)用，符合 ISO 14644-1 潔凈室標(biāo)準(zhǔn)，連續(xù)運(yùn)行數(shù)據(jù)顯示潔凈度達(dá)標(biāo)率達(dá) 99.94%。深圳手持環(huán)境監(jiān)測(cè)檢測(cè)中源綠凈環(huán)境監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，助力 35 + **設(shè)備廠監(jiān)測(cè)，產(chǎn)品故障率降 8%！

中源綠凈為精密儀器裝配無(wú)塵車(chē)間定制的環(huán)境監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，強(qiáng)化了微振動(dòng)與潔凈度的協(xié)同監(jiān)測(cè)。應(yīng)用場(chǎng)景：精密儀器無(wú)塵裝配車(chē)間。針對(duì) 100 級(jí)裝配區(qū)，部署高精度監(jiān)測(cè)終端，同步監(jiān)測(cè) 0.3μm 微粒濃度（采樣流量 50L/min）、環(huán)境振動(dòng)（頻率 1~1000Hz，精度 ±0.001mm/s）、空氣潔凈度等級(jí)及溫濕度。采用壓電式振動(dòng)傳感器，數(shù)據(jù)采樣率達(dá) 1000Hz，可捕捉微米級(jí)振動(dòng)信號(hào)。通過(guò)振動(dòng)源定位算法，提前預(yù)警設(shè)備運(yùn)行引發(fā)的振動(dòng)超標(biāo)，使儀器裝配精度（公差≤0.001mm）達(dá)標(biāo)率提升 42%。已在蔡司、徠卡等企業(yè)應(yīng)用，符合 ISO 10110 光學(xué)儀器標(biāo)準(zhǔn)，環(huán)境穩(wěn)定性達(dá)標(biāo)率 99.93%。

中源綠凈為半導(dǎo)體晶圓切割潔凈室開(kāi)發(fā)的環(huán)境監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，重點(diǎn)強(qiáng)化了微粒與濕度的 管控。應(yīng)用場(chǎng)景：晶圓切割與劃片潔凈車(chē)間。針對(duì) 100 級(jí)切割區(qū)，部署防靜電監(jiān)測(cè)終端，同步采集 0.3μm 微粒濃度（采樣流量 50L/min，數(shù)據(jù)更新周期 2 秒）、車(chē)間濕度（45%~55% RH，精度 ±2%）、切割區(qū)溫度（23±1℃）及靜電電壓（量程 - 500~+500V）。采用激光散射式粒子計(jì)數(shù)器， 小檢測(cè)粒徑達(dá) 0.1μm，配合濕度動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)算法，可將濕度波動(dòng)控制在 ±3% 以?xún)?nèi)。系統(tǒng)支持與切割設(shè)備聯(lián)動(dòng)，當(dāng)微粒濃度超標(biāo)時(shí)自動(dòng)暫停作業(yè)，使晶圓切割崩邊率下降 45%。已在中芯國(guó)際、華虹半導(dǎo)體應(yīng)用，符合 SEMI F47 電壓標(biāo)準(zhǔn)，環(huán)境穩(wěn)定性達(dá)標(biāo)率 99.93%。中源綠凈的環(huán)境監(jiān)測(cè)方案，讓 25 + 陶瓷廠煙塵排放降低 30%，廠區(qū)更潔凈！

中源綠凈在生物制藥發(fā)酵潔凈車(chē)間環(huán)境監(jiān)測(cè)中，推出了溫濕度 - 氧氣濃度多維度方案。應(yīng)用場(chǎng)景：生物發(fā)酵罐潔凈區(qū)。針對(duì) 發(fā)酵的 B 級(jí)潔凈區(qū)，配置防爆型監(jiān)測(cè)終端，同步監(jiān)測(cè)發(fā)酵車(chē)間溫度（25~30℃，精度 ±0.3℃）、濕度（50%~70% RH，精度 ±3%）、氧氣濃度（19%~21%，精度 ±0.1%）及懸浮粒子濃度。采用電化學(xué)氧氣傳感器實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，響應(yīng)時(shí)間≤10 秒，數(shù)據(jù)存儲(chǔ)容量支持 180 天全量回溯。系統(tǒng)對(duì)接發(fā)酵控制系統(tǒng)，當(dāng)氧氣濃度偏離 范圍（20.5%±0.2%）時(shí)自動(dòng)調(diào)節(jié)通風(fēng)量，使發(fā)酵單位產(chǎn)量提升 12%。通過(guò)微生物濃度趨勢(shì)分析，提前 8 小時(shí)預(yù)警污染風(fēng)險(xiǎn)，使發(fā)酵染菌率下降 35%。已在華北制藥、聯(lián)邦制藥等企業(yè)應(yīng)用，符合 GMP 生物制品要求，環(huán)境監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)準(zhǔn)確率 **。中源綠凈為 20 + 企業(yè)提供環(huán)境監(jiān)測(cè)培訓(xùn)，提升企業(yè)內(nèi)部監(jiān)測(cè)能力！深圳萬(wàn)級(jí)車(chē)間環(huán)境監(jiān)測(cè)測(cè)試**標(biāo)準(zhǔn)

中源綠凈的環(huán)境監(jiān)測(cè)設(shè)備，幫 25 + 調(diào)味品廠發(fā)酵監(jiān)測(cè)，風(fēng)味穩(wěn)定性提 12%！深圳手持環(huán)境監(jiān)測(cè)檢測(cè)

中源綠凈在制藥配液潔凈室環(huán)境監(jiān)測(cè)中，打造了藥液制備全流程參數(shù)監(jiān)控體系。針對(duì)無(wú)菌配液的 A 級(jí)潔凈區(qū)，采用每 1 平方米 1 個(gè)監(jiān)測(cè)點(diǎn)的超高密度部署，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)懸浮粒子（0.5μm 和 5μm 雙粒徑同時(shí)監(jiān)測(cè)，采樣流量 50L/min）、微生物濃度（每 15 分鐘采樣一次）、環(huán)境溫濕度（溫度控制在 20~24℃，精度 ±0.5℃；濕度 45%~65% RH，精度 ±3%）及壓差（ 區(qū)與緩沖區(qū)間壓差≥20Pa）。系統(tǒng)搭載的激光粒子計(jì)數(shù)器 小檢測(cè)粒徑達(dá) 0.3μm，數(shù)據(jù)存儲(chǔ)容量可滿足 365 天全量數(shù)據(jù)回溯。通過(guò)與配液系統(tǒng)聯(lián)動(dòng)，當(dāng)參數(shù)超標(biāo)時(shí)自動(dòng)觸發(fā)配液暫停，使配液不合格率下降 65%。已在齊魯制藥、藥明康德等企業(yè)應(yīng)用，符合 GMP 附錄 1 無(wú)菌藥品要求，環(huán)境監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)審計(jì)通過(guò)率 **。深圳手持環(huán)境監(jiān)測(cè)檢測(cè)