求日語翻譯，關(guān)于等離子蝕刻機的說明的一段話的翻譯
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プラズマエッチング裝置はどらいエッチング裝置の一種で、反応性ガスによる低溫プラズマ中の活性化原子(ラジカル)と試料の化學(xué)反応により揮発性化合物を作り試料を加工する技術(shù)である。
等離子蝕刻設(shè)備是蝕刻設(shè)備中的一種，是加工根據(jù)反應(yīng)性氣體的低溫等離子體中的活化原子(游離基)和試料的化學(xué)反應(yīng)所產(chǎn)生的揮發(fā)性化合物試料的技術(shù)。
好
不好其 他 回 答共2條
1樓
他毫不猶豫地說了蝕刻設(shè)備等離子了蝕刻設(shè)備的一種,反應(yīng)性氣體的低溫等離子的活性化原子所)和試料的化學(xué)反應(yīng)波動化合物,試料加工技術(shù)。
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