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激光干涉儀具有快速、高準(zhǔn)確測(cè)量的優(yōu)點(diǎn)，是校準(zhǔn)數(shù)字機(jī)床、坐標(biāo)測(cè)量機(jī)及其它定位裝置精度及線性指標(biāo)最常用的標(biāo)準(zhǔn)儀器；
例如英國(guó)雷尼紹MLl0激光干涉儀，是根據(jù)光學(xué)千涉基本原理設(shè)計(jì)磊成酌。從MLl0激光器射出的激光束有單一頻率，其標(biāo)稱波長(zhǎng)雋0．633pLIn，且其長(zhǎng)期波長(zhǎng)穩(wěn)定健(真空狀態(tài))要高0．1ppm。當(dāng)此光束抵偏振分光鏡時(shí)，會(huì)被分為兩道光束一一道反射光糯一道透射光。這兩道光射向其反光鏡，然后透過分光鏡反射圈去，在激光頭內(nèi)的探測(cè)器形成一道干涉光束。若光程差沒有任俺變訖，探測(cè)器長(zhǎng)性秘楣潢性于涉的兩極找到穩(wěn)定的信號(hào)。若光程差確實(shí)有變化，探測(cè)器會(huì)在每一次光程改變時(shí)，長(zhǎng)性和相消性干涉的弼極找到變動(dòng)的信號(hào)。這些變化(援格)會(huì)被計(jì)算并用來測(cè)量?jī)蓚€(gè)光程聞的差異變化。測(cè)量的光程就是柵格數(shù)乘以光束大約一半的波長(zhǎng)。